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专利名称：用于EUV曝光工具的具有弯曲一维图案化掩模的照
明系统
专利类型：发明专利
发明人：丹尼尔·基恩·史密斯,大卫·M·威尔森,多尼斯·G·弗拉
杰罗,麦可·B·宾纳德
申请号：CN201880030036.0申请日：20180509公开号：CN110914760A公开日：20200324
摘要：一种反射系统具有参考轴且包括反射图案源(承载实质上一维图案)以及两个光学反射镜的组合，所述两个光学反射镜依序设置以将入射于第一光学组件上的EUV辐射转移至图案源上，图案源的实质上一维图案设置于弯曲的表面中。在一种情形中，此种组合包括仅有两个光学反射镜(每一光学反射镜可含有多个构成组件)。所述组合相对于所述图案源设置成固定的空间及光学关系，且表示一维极紫外线曝光工具的照明单元(IU)，所述一维极紫外线曝光工具另外包括(包括投影光学子系统，所述投影光学子系统被配置成在图像平面上利用仅有两束辐射形成所述图案源的光学图像。所述仅有两束辐射在所述图案源处起源于被转移至所述图案源上的所述极紫外线辐射。
申请人：株式会社尼康
地址：日本东京都港区港南二丁目15番3号
国籍：JP
代理机构：上海专利商标事务所有限公司
代理人：胡林岭
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