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专利名称：一种用于晶圆旋转的气浮基座专利类型：发明专利
发明人：沈文杰,傅林坚,周建灿,邵鹏飞,汤承伟,杨奎,潘礼钱,
鲁冲昊
申请号：CN201910370532.7申请日：20190506公开号：CN110129881A公开日：20190816
摘要：本发明涉及承托外延生长的晶圆的装置，具体涉及一种用于晶圆旋转的气浮基座。包括基座主体，还包括盘；基座主体上部均匀设有若干出气孔，下部设有进气口；出气孔自靠近基座主体的外缘向基座主体的中心沿同一顺时针或逆时针方向延伸，端部偏离基座主体中心；进气口与出气孔相连通；盘设于基座主体上，盘的下端面均匀设有若干自盘的外缘向中心沿同一顺时针或逆时针方向延伸的条形凹槽，条形凹槽靠近盘面中心的端部均偏离盘面中心；基座主体上端面的中心与盘的下端面中心设有凸起或凹陷，二者的凸起或凹陷间设有旋转块。本发明中的基座和盘均使用高纯石墨材料，使用寿命长，因此盘在1550℃到1750℃的高温下只要有气体的通入就可以持续稳定的旋转。
申请人：杭州弘晟智能科技有限公司
地址：312300 浙江省杭州市余杭区龙船坞路96号1幢1楼A区03
国籍：CN
代理机构：杭州中成专利事务所有限公司
代理人：周世骏
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