UF200R PROBER 软件常用界面介绍(SYSTEM权限下,code:12345678)
一、系统主界面分为两级,开机后首先进入一级界面,主要的操作界面有两个,PROBER CONFIG CHANGE中主要为系统模式和功能的设定,MAINT AND ADJUSTMENT中主要为维修时使用,可以调整设备各元件的位置参数等。
1.PROBER CONFIG CHANGE
该菜单下最后一个子菜单OPTION CONFIGURATION SETTING为厂家调机使用,我们无权限修改其中内容,其他子菜单中涉及系统初始参数的也轻易不要修改。 2.MAINT AND ADJUSTMENT
该界面在系统初始化后的二级界面中也会出现,由于在初始化之前各执行元件可能不在原点位置,建议初始化之后再进入此界面进行相关调整,下面介绍一下此菜单中可能常用的子菜单。(括号中数字代表菜单位置)
(2)SYSTEM LOGGING UTILITY
在此菜单下可选择输出系统记录(PROBER/PC/ERROR/TESTER/LOADER LOG)
(4)SENSOR/ACTUATOR ADJUSTMENT 此菜单中可检查各sensor状态
(6)VACUUM ON/OFF (7)PRESSURE VALUE CONFIRMATION 此菜单中可以开关真空,查看系统气压状态
(10)X,Y,Z,THETA,F AXIS ADJUSTMENT 此菜单中控制MAINBODY中CHUCK各AXIS的运动
(11)LOADER ADJUSTMENT
此菜单为控制右侧LOADER内执行元件的运动
(18)INTERLOCK MAINTENANCE 此菜单中开启/关闭前保护盖的锁
注:在MAINT AND ADJUSTMENT中控制各元件运动时,系统是没有动作互锁的,请小心移动,防止碰撞。
二、系统初始化后的二级界面
1.LOT SETTINGS
此菜单中输入LOT号,可以选择手动输入或者使用barcode scanner扫描。
(1)SAMPLE LOAD
此菜单可设置抽片LOAD,选择需要抽取的WAFER SLOT
(2)ASSIGN LOAD
此菜单可设定从CASSETTE中的第几个SLOT开始LOAD WAFER
2.DEVICE PARAMETER CHANGE
(1)设定DEVICE名称 (2)选择WAFER SIZE
(3)(4)设定X,Y AXIS INDEX 距离
(5)设定FLAT/NOTCH角方向:由于我们的WAFER中无PAD所以设为0DEG即可 (11)PROBING MODE选择,REGULAR为常规方式,SAMPLE为自选方式 (15)设定SITE数量和模式
(28)参考点设定,一般选择TEACHING模式,将参考点坐标设为0
(29)设定针高,允设范围为2至12mm
(31)PROBING OVERDRIVE 设定,即CHUCK Z AXIS 上升补偿值设定 (34)MARKING设定 (36)NEEDLE CLEAN设定 (40)系统单位切换 3.OPERATION SETTINGS
此菜单中可设定校准模式(AUTO/MANU),运行步骤STOP位置,WAFER LOAD位置
(1) MULTI PASS PROBING SETTINGS 复测设定
(2) DEMO MODE SETTINGS 演示模式设定 4.PROBER MODE SETTING
(1) WAFER LOAD SETTINGS中的POSITION OF SLOT NO.1中可选择CASSETTE中SLOT1的
位置(即从上到下升序或降序排列SLOT)
(6)SET UP SEQUENCE SETTINGS中的NEEDLE ALIGNMENT SETTINGS中的METHOD OF CONTACT POSITION ALIGNMENT中选择对针模式,一般选择MANU
(7)PROBING SETTINGS中的DIRECTION OF PROBING START中选择PROBING起始方向 (18)设定是否适用BARCODE SCANNER
(19)(20)MAP图的输出/输入设定,由于MAP图只能联网储存或者储存到U盘中,建议配2G大小的U盘常插在设备上并设置封条
(24)MAPDISPLAY/PRINT SETTINGS中的MAP DISPLAY ATTRIBUTE SETTINGS中可设定DIE的代表颜色
5.LOADER SW :LOAD WAFER,开关LOADER保护盖的锁 6.UTILITY
(2)RS-232C MANUALTEST连接或中断通讯,在设备执行probing过程中,是无法对设备进行任何操作的,必须要中断通讯后才可以操作 (31)SYSTEM RESET系统重启
7.CLEANING UNIT CHANGE更换CLEAN UNIT 8.CARD CHANGE更换PROBE CARD和MARKER