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专利名称：软性光罩曝光用装置专利类型：实用新型专利发明人：吴守满
申请号：CN201320605677.9申请日：20130927公开号：CN203502736U公开日：20140326
摘要：一种软性光罩曝光用装置，包括一本体、一升降机构、一基板载台及一光罩载台。该本体的内部形成一腔室。该升降机构设置于该本体的内部，该升降机构具有一动力装置。该基板载台连接于该动力装置，该基板载台用于放置基板。该光罩载台设置于该本体的顶部，该光罩载台设置有一透孔，该透孔用于放置软性光罩，通过负压或正压方式，使软性光罩下垂变形，以贴附于基板进行曝光操作。本实用新型可以提高操作的便利性，使得图型化基板的制作得以量产。
申请人：迅得机械股份有限公司
地址：中国
国籍：CN
代理机构：北京康信知识产权代理有限责任公司
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