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等离子体物理学——等离子体刻蚀工艺的物理基础

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2007V_o1.13,No.3 Chinese Science Abstracts(Chinese Edition) 7 电子学研究进展.图12表1参40 关键词:有机半导体:极化子;自旋电 子学:自旋注入 O7030o52 140・50 自旋电子学研究与进展=Recent pro— gress in spintronics[刊,中],詹文山(中国 科学院物理研究所磁学国家重点实验 室,北京100080)# ̄理一2006,35(10). 一关键词:等离子体;刻蚀;电容耦合放 电;电感耦合放电;双频;鞘层 07030055 140・60原子分子物理学 高里德伯态氢原子与氢分子的全量子态 分辨的散射动力学研究:费米模型的精 确性=Full quantum state resolved scat— tering dynamics of igh Rydberg H-athom with hydrogen molecule:The validity of 8ll~817 自旋电子学是最近几年在凝聚态物理中 发展起来的新学科分支,它研究在固体 中自旋自由度的有效控制和操纵,在金 Fermi model[刊,中],戴东旭(中国科学 院大连化学物理研究所分子反应动力学 国家重点实验室,大连116023),吴国荣, 杨学明,/4勿理.—20o6,35(7).一543~545 子中的ssuud成分很可能主要是以夸克 对有色集团的形式存在,而不是以传统 的介子云无色集团的形式存在.对最轻 的负宇称核子激发态N (1535)一些性质 的最新研究支持这种关于重子中的五夸 克成分的新图像.图2参27 关键词:重子;奇异性;五夸克成分 07030058 140・80应用物理学 高压对有机化合物晶体结构和电子结构 的作用=High pressure effctes on the crystal and electronic structures of organic compounds[刊,中]/杨国强(中国科学 属和半导体中自旋极化、自旋动力学、 自旋极化的输运和自旋电子检测.由于 它在信息存储方面的重大应用前景,受 到学术界和工业界的高度重视.文章扼 要地介绍了自旋电子学发展的历程和发 展中的最重要的发现.最近几年,最奇 特的发现和最重要的应用莫过于巨磁电 阻,薄膜领域纳米技术的迅速发展使巨 磁电阻的应用变成可能.作为磁记录头 它已使硬磁盘的记录密度提高到 170 Gbit/ni .动态随机存储器MRAM的 研究已实现16 Mbit的存储密度.图9 参50 关键词:自旋电子学;巨磁电阻;磁隧 道结;自旋阀 o703O053 140・50 自旋.轨道耦合系统中的自旋流定义= Proper definition of spin current in spin- orbit coupled systems[刊,中],施均仁(中 国科学院物理研究所国际量子结构中 心,北京100080),张平,肖笛,牛 物 ̄.----2006,35(9).一720~722 通常的自旋流定义在描述自旋.轨道耦 合系统中的自旋输运是不完整的与非物 理的.文章作者提出在这类系统中自旋 流的恰当定义.新定义的自旋流克服了 通常定义下的本质缺点,可通过实验直 接观测.图1参13 关键词:自旋电子学:自旋流;自旋. 轨道耦合;自旋霍尔效应;昂萨格对易 关系 07030054 140・55等离子体物理学 等离子体刻蚀工艺的物理基础=The physics of plasma etching[刊,中],戴忠 玲(大连理工大学物理系三束材料表面 改性国家重点实验室,大连116024),毛 明,王友年/,物理.—20o6,35(8).—693~ 698 介绍了等离子体刻蚀工艺背景以及有关 等离子体刻蚀机理的研究进展,综述了 等离子体刻蚀机理的研究方法,着重阐 述了电容耦合放电和电感耦合放电等离 子体物理特性,特别是双频电容耦合放 电等离子体和等离子体鞘层研究中的关 键问题.图8参19 文章描述了高里德伯态氢原子与氘分子 (D:)散射的近期研究结果.实验研究表 明,在高里德伯态氢原子与D:的散射 中,非弹性散射和化学反应散射都是重 要的.在非弹性散射过程中,氘分子的 核自旋是守恒的.反应散射结果说明, 高里德伯态氢原子与氘分子的散射动力 学和质子与氘分子的散射动力学是非常 类似的.这一结果表明,费米的碰 撞模型在态.态散射动力学的层次上也 是正确的.图3参10 关键词:里德伯态氢原子;反应散射; 费米模型 70030056 140・65原子核物理学 核电和物理学=Nuclear power and physics[刊,中]/徐铢(中国原子能科学 研究院,北京102413・)//物理.一2006, 35(8).— 89 ̄692 20世纪三四十年代,原子物理学家们发 现中子轰击铀原子核的裂变现象并首次 实现可控裂变链式反应,把世界带进了 原子能时代.半个世纪以来核电已达到 全世界电力的16%.目前99%以上都是 热中子反应堆核电站.在大规模发展核 电的情况下,比如说百GWe,必须加快 快中子增殖反应堆的发展和推广,方无 核燃料匮乏之虞.图6参6 关键词:裂变;链式反应;压水堆;快 中子增殖反应堆 07030057 140・70高能物理学 奇特的“五夸克态”和重子中的五夸克 成分=Exotic pentaquark and 5-quark components ni baryons[刊,中]艏 冰松 (中国科学院高能物理研究所,北京 100049)//物理.一20o6,35(10).一799~ 803 文章简要介绍了奇特的0 五夸克态、质 子中的奇异夸克成分和重子激发态中的 五夸克成分等重子谱和重子结构方面的 一些最新前沿进展.最新的高统计量实 验结果表明,轰动一时的suudd五夸克 态0 (1540) ̄可能不存在.而最新的几 个电弱相干实验给出一致的结果:质子 的奇异磁矩和奇异半径很可能不为零, 且均为正.理论分析表明,这意味着质 院化学研究所,北京分子科学国家实验 室光化学重点实验室,北京100080)// 物理.一20o6,35(7)_585~590 压力作为与温度同等重要的一个环境物 理参量,在众多研究领域中越来越受到 重视.经过几十年的发展,现在已经可 以实现对超高压的可控调节.将高压作 为一个重要的环境物理参量引入到科学 研究的各个领域,将会大大扩展研究的 范围.文章介绍了近年发展起来的一种 简单安全的高压产生技术,以及利用这 种高压产生技术在超高压条件下开展的 一些有机化合物光物理性质的研究工 作.图6参29 关键词:超高压;光物理;光化学 O7O姗59 140・80 规范场理论和金融市场模型=Gauge hteory and ifnancial market model[刊, 中],李华钟(中山大学高等学术研究中 心,广卅I 510275)// ̄.一20o6,35(9). 一740~749 介绍近年理论物理在金融学市场建模中 的应用的一个新方向,与一般的数学建 模不同,它是应用几何结构的模型,建 立在规范场的物理思想和纤维丛的几何 结构的基础上.文章介绍了规范场的物 理概念思想原则,也介绍纤维丛数学概 念和几何结构,然后说明规范场理论与 纤维丛理论的相结合,成为与金融市场 概念和运作相匹配的市场模型,举出这 一模型成功引导出金融市场产品定价的 Black.Scholes方程和公式.文章对象以 物理学者为主,对于理论经济学、金融 理论和系统科学的读者来说可略去数学 推导.图6参22 关键词:金融资产定价;规范对称;纤 维丛应用 O703Ool 140・80 利用大体积压机与同步辐射进行原位高 温高压研究——地球内部物质物性研究 的应用=High—pressure,high—temperature research using the large・volume press combined with synchrotron radiation: applications to studies of physical prop・ erties of earth materilas[刊,中]压雁宾 

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