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专利名称：扫描电子显微镜及扫描透过电子显微镜专利类型：发明专利发明人：稻田博实,中村邦康申请号：CN201280035812.9申请日：20120719公开号：CN103703537A公开日：20140402
摘要：本发明的扫描透过电子显微镜为了能够实现0.1nm原子尺寸结构的三维观察而具有球面像差系数小的电子透镜系统。再有，本发明的扫描透过电子显微镜具有：能够变更照射角的光圈、能够变更电子射线探针的探针尺寸及照射角度的照射电子透镜系统、二次电子检测器、透过电子检测器、前方散射电子射线检测器、焦点可变装置、识别图像的对比度的图像运算装置、对图像清晰度进行运算的图像运算装置、进行图像的三维构筑的运算装置、及对二次电子信号与样本前方散射电子信号进行混合的混频器。
申请人：株式会社日立高新技术
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：李逸雪
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